[C++·MFC] EFEM 장비 소프트웨어 개발
Robot · Load Port · Aligner 자동 운전 시퀀스 / 인터락 · 알람 · 복구 로직 구현
기간: 포트폴리오 기준 (양산 장비 적용)역할: EFEM 운전 시퀀스 설계 / 장비 제어 로직 구현 / 알람·복구 체계 구성
C++MFCWin32 API장비 I/O 제어상태 기반 시퀀스(State Machine)알람/인터락 관리
Overview
개요
반도체 공정 장비의 전면 자동화 모듈인 EFEM(Equipment Front End Module) 소프트웨어를 개발했습니다. Robot, Load Port, Aligner를 포함한 EFEM 구성 요소를 통합 제어하며, 자동 운전 시퀀스와 장비 보호를 위한 인터락, 알람 및 에러 복구 로직을 중심으로 설계·구현했습니다. 현장 양산 운전 환경에서 장비 정지 없이 안정적으로 동작하는 것을 목표로 했습니다.
Problem
문제
- EFEM은 Robot·Load Port·Aligner가 동시에 동작해, 시퀀스 충돌 시 장비 손상 위험이 큼
- 인터락 정의가 불명확하면 장비는 멈추지 않아도 ‘잘못된 동작’을 수행할 수 있음
- 알람 발생 후 복구 절차가 정리되지 않으면 현장 대응 시간이 급격히 늘어남
Solution
해결
- EFEM 전체 동작을 상태 기반(State Machine)으로 정의해 자동 운전 흐름을 명확히 구성
- Robot 이동, Slot 상태, Load Port 도어/클램프 상태, Aligner 동작을 인터락으로 보호
- 알람 발생 시 원인·조치 방향을 구분해 단순 리셋이 아닌 단계적 복구 흐름 설계
- 수동 운전/유지보수 모드를 분리해 자동 운전과 충돌하지 않도록 구현
Scope
적용 범위
- [자동 운전] EFEM Auto Sequence 구성 (Load → Align → Process → Unload)
- [로봇 제어] Wafer/Glass 이송 로봇 동작 제어 및 위치 인터락
- [Load Port] Cassette/Slot 상태 관리, 도어·클램프 인터락
- [Aligner] 얼라인 동작, 정렬 완료 상태 확인 및 다음 시퀀스 연계
- [인터락] 충돌 방지, 상태 불일치 방지, 잘못된 조작 차단
- [알람] 장비 알람 정의, 등급 분류, 메시지 표시
- [복구] 알람 발생 후 Reset / Resume / Manual Recovery 시나리오 구현
- [유지보수] 수동 동작, 점검 모드, 엔지니어용 제어 화면 구성
Outcome
결과
- EFEM 자동 운전 시 시퀀스 충돌 및 오동작 리스크 감소
- 알람 발생 시 현장 엔지니어가 절차에 따라 빠르게 복구 가능
- 양산 운전 환경에서 장비 안정성 및 운용 신뢰도 확보
Screens
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